Parylene沉积使用专门的真空涂覆设备,沉积过程为第一步在约150℃温度下将原料进行蒸发,第二步是在680℃温度下将两个侧链碳碳链裂解生成稳定的活性单体,最后活性单体进入室温状态下的沉积室进行聚合沉积,瞬间吸附在基体上聚合成为Parylene薄膜。
Parylene是一种敷形涂层材料,用独特的真空气相沉积工艺制备,由活性小分子在基材表面“生长”出完全敷形的聚合物薄膜涂层,它能涂敷到各种形状的表面,包括尖锐的棱边,裂缝,内表面及可深入裂缝里和内表面。涂层厚度 均匀、致密无针孔、透明无应力、不含助剂、不损伤工件、有优异的电绝缘性和防护性,是当代最有效的防潮、防霉(零级)、防腐、防盐雾涂层材料。
Parylene有着许多其他敷形涂层所不能及的优势,这种真空状态下室温沉积制备的微米级薄膜涂层能达到优异的电绝缘性和屏障性、表面憎水性、润滑、良好的生物相容性,热稳定性等。Parylene特别适合高频部件的防护,因现有的环氧、聚氨酯、丙烯酸等敷形涂层会对高频部件的微波性能产生较大的影响。