耐腐蚀特性
| 溶剂 | Parylene 厚度变化（%） | ||
| Parylene N | Parylene C | Parylene D | |
| 异丙醇 | 0.3 | 0.1 | 0.1 |
| 异辛烷 | 0.2 | 0.4 | 0.3 |
| 吡啶 | 0.2 | 0.5 | 0.5 |
| 混合二甲苯 | 1.4 | 2.3 | 1.1 |
| 三氯乙烯（TCE） | 0.5 | 0.8 | 0.8 |
| 氯苯 | 1.1 | 1.5 | 1.5 |
| 二氯苯 | 0.2 | 3 | 1.8 |
| 三氯二氟乙烷 | 0.2 | 0.2 | 0.2 |
| 丙酮 | 0.3 | 0.9 | 0.4 |
| 一戊二酮 | 0.6 | 1.2 | 1.4 |
| 去离子水 | 0 | 0 | 0 |
| 试剂品种 | 浓度 | Parylene 厚度变化（%） | ||
| Parylene N | Parylene C | Parylene D | ||
| 盐酸 | 10% | 0 | 0 | 0.1 |
| 浓盐酸 | 37% | 0.2 | 0 | 0.5 |
| 硫酸 | 10% | 0.1 | 0.3 | 0.2 |
| 浓硫酸 | 95-98% | 0.2 | 0.4 | 0.8 |
| 硝酸 | 10% | 0.1 | 0.1 | 0.2 |
| 浓硝酸 | 71% | 0.2 | 0.2 | 0.5 |
| 铬酸 | 10% | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
| 浓铬酸 | 74% | 0.3 | 0 | 0.2 |
| 强碱（氢氧化钠） | 10% | 0.1 | 0 | 0.1 |
| 弱碱（氢氧化氨） | 10% | 0.3 | 0.2 | 0.1 |
