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MEMS作为超小型电子机械，要求使用的材料必须具有如下特性：
	能进行微米级微细制作和加工；
	在微细结构中仍具有优良的电性能和物理机械性能；
	与其它微细结构材料有很好的相容性；
	对微电子机械系统的使用环境有很好的相容性和防护性。
	对微电子机械系统的使用环境有很好的相容性和防护性。

　　Parylene能在0.2微米厚时就完全没有针孔，5微米厚就能耐1000V以上直流击穿电压，同时又是摩擦系数很低的一种自润滑材料，化学惰性和阻隔性能优异。
因此，在微电子机械系统中，Parylene除了作电介质材料外，还用作微型传动机构和微型阀门的结构材料和防护材料。