|
 |
| |
|
|
| |
| Parylene是目前已知最好的绝缘材料,具有以下特点: |
|
 |
Parylene 具有极高的绝缘强度(25μm可耐5000V且可随厚度增加而持续提高); |
| |
|
绝缘性能不会受环境温度和湿度的影响; |
|
Parylene 的介电常数和介电损耗均非常低且不受吸潮的影响; |
|
Parylene 的高纯度、表面憎水性及不存在任何痕量的离子污染又保证了极高的体积电阻率和表面电阻率; |
| |
|
极低的高频损耗,特别适合超高频器件。(见下表) |
 |
| Dielectric constant |
Parylene N |
Parylene C |
Parylene D |
| 60 Hz |
2.65 |
3.15 |
2.84 |
| 1 KHz103 |
2.65 |
3.1 |
2.84 |
| 1 MHz106 |
2.65 |
2.95 |
2.80 |
| 5.1THz1014 |
2.76 |
2.69 |
2.79 |
|
|
 |
 |
|
|