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Parylene是独特的聚对二甲苯材料系列的统称,属于一种具有完全线形、高度结晶的高聚物。
N型Parylene是对二甲苯的高聚物,在各类Parylene中具有最强的渗透能力,能够有效地在各种细缝或盲孔表面形成薄膜。它的介电常数极低(2.65)及耗散因子小,且随外界频率的增加变化不大;同时具有最佳的润滑效果,主要用于橡胶、光学领域。
在对二甲苯链的侧环上添加一个氯原子,就得到了C型Parylene。C型Parylene具有非常低的水分子和腐蚀性气体的透过率,沉积生长速率也比N型快得多,相应的渗透能力也差于N型;是目前应用最广,防护效果最好的Parylene。
D型是在对二甲苯链的侧环上拥有两个氯原子的Parylene,因而在更高温度下具有相对更好的物理及电性能,同时与N、C型相比,具有更好的热稳定性; Parylene的热分解起源于苯环两侧的C-C键,通过将二甲基上的H原子替换为F原子,就得到HT型Parylene,目前还未商品化,但HT型所拥有的大于420的使用温度和最低的介电常数,使其在航空及半导体领域具有广泛的应用前景。 |
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