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 |
| |
0.5-1.5mil薄膜室温下浸入各种溶剂90分钟后产生的厚度变化（红外法测量） |
溶剂 |
Parylene 厚度变化（%） |
|
N |
C |
D |
异丙醇 |
0.3 |
0.1 |
0.1 |
异辛烷 |
0.2 |
0.4 |
0.3 |
吡啶 |
0.2 |
0.5 |
0.5 |
混合二甲苯 |
1.4 |
2.3 |
1.1 |
三氯乙烯（TCE） |
0.5 |
0.8 |
0.8 |
氯苯 |
1.1 |
1.5 |
1.5 |
二氯苯 |
0.2 |
3.0 |
1.8 |
三氯二氟乙烷 |
0.2 |
0.2 |
0.2 |
丙酮 |
0.3 |
0.9 |
0.4 |
2．4一戊二酮 |
0.6 |
1.2 |
1.4 |
去离子水 |
0 |
0 |
0 |
|
| |
|
| 0.5-1.5mil薄膜室温下浸入各种试剂90分钟后产生的厚度变化（红外法测量） |
试剂品种 |
浓度 |
Parylene 厚度变化（%） |
|
|
N |
C |
D |
盐酸 |
10% |
0.0 |
0.0 |
0.1 |
浓盐酸 |
37% |
0.2 |
0.0 |
0.5 |
硫酸 |
10% |
0.1 |
0.3 |
0.2 |
浓硫酸 |
95-98% |
0.2 |
0.4 |
0.8 |
硝酸 |
10% |
0.1 |
0.1 |
0.2 |
浓硝酸 |
71% |
0.2 |
0.2 |
0.5 |
铬酸 |
10% |
0.1 |
0.1 |
0.1 |
浓铬酸 |
74% |
0.3 |
0.0 |
0.2 |
强碱（氢氧化钠） |
10% |
0.1 |
0.0 |
0.1 |
弱碱（氢氧化氨） |
10% |
0.3 |
0.2 |
0.1 |
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